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電漿蝕刻MIM薄膜電容之製程技術應用與研究

金屬-絕緣層-金屬電容在半導體晶片上的應用日益廣泛，隨著市場上的電子產品要求更小的尺寸，更強大的功能，驅使設計發展出新的電晶體結構及使用到特殊材料(如介電常數 ...

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