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目前研究主題-微系統力學設計與可靠度分析實驗室

隨著半導體元件尺寸之微小化而進入奈米等級時，為增進元件性能，提昇載子的移動 ... 聚集而造成元件失效，此為應力遷移（Stress-migration，SM）效應(參考Fig.12)，另 ...

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