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PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com ...

3-1 何謂薄膜沈積在機械工業、電子工業或半導體. ... 所形成的薄膜構成原子會在基板表面作擴散運動，這個現象稱為吸附原子的『表面遷徙』(surface migration)。

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