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北美智權報第109期：淺談MEMS科技

MEMS是一種將是將微電子技術與機械工程融合的一種工業技術，目前它的操作範圍通常在微米（micrometer，符號µm）範圍內。

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  1. 長度單位
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  3. Um nm
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  4. nm單位
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  6. 1微米等於幾毫米
    7.
  7. 微米mm
    8.
  8. m mm
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