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經濟部工業局產業升級創新平台輔導計畫申請須知

可適用於高階載板之微影曝光、micro LED 之巨量移轉、功率元件. 原子層沉積(ALD)等製程設備，同時已取得終端廠之合作測試意願。 1. 高階載板微影曝光設備須滿足曝光精度≦ ...

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