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The Metal Gate Cut Process Development,ECS Transactions

中文 翻译：. 金属门切割工艺开发 FinFET的技术已导致器件缩放的连续性，并使摩尔定律向7nm及以上节点扩展。金属栅切割（MGC）将被广泛采用，因为它可以 ...

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