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邏輯元件製程技術藍圖概覽(上)
在這些矽奈米片周邊與層片之間,則運用雙功函數替代金屬閘極(replacement metal gate;RMG)製程,製造出一組閘極堆疊。 除了優化製程,愛美科的研究 ...
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