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先進製程控制技術(APC)導論 - 高雄市立空中大學數位學習系統

不過由於MES/EAP是FAB廠生產的基礎，任何影響機台停機的事故都是很嚴重的 ... 多半集中在製程執行能力上，對於資料收集功能方面，優先權往往比較低。

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