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剖析電容式MEMS麥克風技術設計

本文旨在提出工研院南分院微系統中心MEMS麥克風之結構與利用標準IC製程製作，使得麥克風與電路IC可以成為SOC的整合晶片設計，可達到數位及陣列化之未來需求目的。 麥克風 ...

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