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博碩士論文etd-0831109-145122 詳細資訊

本論文運用面型與體型微加工之MEMS製程技術，完成一種具有聚亞醯胺背板(Polyimide backplate)結構之電容式MEMS麥克風的開發，其主要製程步驟包括五次 ...

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