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駐極體電容式矽晶微音器振膜之模態分析與製作方法
第四章駐極體電容式麥克風之製程與量測…………………………22. 4-1 製程設計… ... 但其缺點則是需要高 ... 本論文應用駐極體材料、矽技術、微機電系統技術及麥克風技.
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