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微機電電容式麥克風之設計與研發__臺灣博碩士論文知識加值系統
本論文主要是整合微機電與半導體製程技術來製作一新式聲音感測器即微小型電容式麥克風。 ... 製作的缺點,亦可以避免雙晶片成本高,且高溫鍵合可能影響整合IC電路的缺點。
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