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CN104602170B - 压电mems麦克风

包括多层传感器的压电MEMS麦克风，该传感器包括位于两个电极层之间的至少一个压电层 ... 具体地，在对梁进行建模之后，产生了图7以确定聚对二甲苯中间层的优点/缺点。

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