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压电效应推动MEMS 麦克风、 指纹传感器发展 - Applied ...

尽管挑战依然存在，技术专家们仍在与应用材料公司共同努力开发一种利用这项重要技术的新型MEMS 装置。 高信噪比(SNR) 麦克风. 基于MEMS 的麦克风— 目前生产批量最大的MEMS ...

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