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台灣發展CMOS MEMS之現況與機會 - 國立交通大學機構典藏

而Akustica 開發出單晶片微機電. 麥克風製造商將ECM 微型駐極電容器麥克風的所有功能，包括一個分離. 式FET、一個獨立型運算前置放大器晶片，以及一個類比數位轉換器晶片.

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