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微感測系統與應用 - 第 4 頁 - Google 圖書結果

常見的產品包括 MEMS 加速度計、 MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS 壓力感測器、MEMS 陀螺 ... 因此,MEMS並不是整體系統的簡單縮小,而是包含了新原理和新功能。

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