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mems麥克風原理
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https://books.google.com.tw/books?id=6yUWEAAAQBAJ&pg=PA30&lpg=PA30&dq=mems%E9%BA%A5%E5%85%8B%E9%A2%A8%E5%8E%9F%E7%90%86&source=bl&ots=FG5dMXaPbi&sig=ACfU3U00f8YqNKUcOa7eDkg2JQ6434jR4A&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwiP8dGb786AAxWvqVYBHTzzAJoQ6AF6BQihAhAD
新通訊 02月號/2021 第240期 - 第 30 頁 - Google 圖書結果
其中的二氧化碳氣體吸收了紅外光後變熱,採樣腔內的氣壓隨之升高,MEMS 麥克風可以 ... 光聲光譜技術的作用原理是氣體分子僅吸收特定波長的光;二氧化碳氣體分子可吸收的 ...
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