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mems麥克風原理
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本研究主要針對MEMS 麥克風技術進行概略性介紹,包括MEMS 麥克風相較於傳統. 駐極體電容式麥克風( ECM ) 的優勢,MEMS 電容式麥克風結構原理,其性能規格與.
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