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高可靠性电容式MEMS麦克风在车载中的应用 - 电子元件技术网

电容式MEMS麦克风工作原理. 采用MEMS技术制造的硅麦克风通常由两层平行板组成，一层为固态背板，一层为弹性的可移动膜片，膜片和背板形成可变电容器。

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