MEMS麦克风 工作原理 ... 像ECM一样,MEMS麦克风也是电容麦克风。MEMS麦克风包含一个灵活悬浮的薄膜,它可在一个固定背板之上自由移动,所有元件均在一个硅晶圆上制造。该结构 ...
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