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MEMS陀螺儀、加速度計和磁強計原理 - 台部落
檢測原理是當質量塊感受到加速度時,會在相應方向產生位移,從而使得固定電極板構成的兩個平行板電容器C1,C2的電容大小發生改變,檢測其電容值大小即可 ...
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