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振动MEMS陀螺原理与构造 - 无处不在的小土

它们的工作原理也各不相同，但归根到底还是来测量科氏力来推导感应轴的旋转角速度的。 本文以单轴二自由度的线振动陀螺仪为例介绍振动MEMS陀螺的基本原理。

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