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MEMS陀螺仪应用与原理介绍 - 分析测试百科网

陀螺仪利用这种技术，可在硅片上形成微米尺度的精密谐振结构，用来感应角速度的大小和方向。 与传统的利用角动量守恒原理的陀螺仪相比，MEMS陀螺仪使用了 ...

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