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微機電陀螺儀之設計與實現__國立清華大學博碩士論文全文影像 ...

本研究包含微機電陀螺儀的設計、模擬、製作與量測，並且分別從結構及整體系統的角度探討設計理念、各項參數與應用規格之關係。本研究利用台積電CMOS-MEMS整合平台下線 ...

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