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挺進陀螺儀市場台灣MEMS業者明年量產有譜 - 新電子雜誌

張平指出，由於實現同質整合的首要條件在於各種不同MEMS元件的製程須彼此相容，因此南分院在初期研發時，即選定電容式結構進行加速度計與陀螺儀的研發，以 ...

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