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CN110779510A - 一种三轴mems陀螺仪 - Google Patents

本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪，包括基底；第一质量块，被配置为能够被驱动以绕结构中心在X方向和Y方向组成的平面内旋转；第一检测装置组，用于检测绕X方向和绕Y方向 ...

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