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微機電陀螺儀之設計與實現__臺灣博碩士論文知識加值系統

本研究利用台積電CMOS-MEMS整合平台下線，設計濾波感測模態陀螺儀(Filter-Sensing Mode Gyroscope, 簡稱FSMG)，預期能同時保有較大頻寬及較高敏感度；本研究也以SOI製程 ...

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