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mems產業
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科技專案成果- 創新與展示- 經濟部技術處
南部產業共同實驗室環境建構計畫(微機電開放實驗室,創造新興產業與傳統 ... 第一顆可商業化之MEMS麥克風元件製程技術,協助IC設計業進入MEMS產業。
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