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敏芯微电子：中国MEMS产业“拓荒者”的突围之路 - 财经

所谓MEMS传感器(全称“Micro-ElectroMechanicalSystem”)，即微机电系统， ... “集成电路产业本身就是一步生一步死，MEMS更是其中最难的一个分支，十几 ...

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