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2020深圳市MEMS产业发展白皮书

MEMS器件根据其技术原理可分为四类：传感MEMS、生物MEMS、光学MEMS和射频MEMS。 图片26.jpg. 图片来源：创新中心智能经济研究所. 02. MEMS产业链. MEMS ...

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