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【產業資訊】一文了解MEMS產業鏈，中國機會來了 - 字媒體

簡單理解， MEMS 就是將傳統感測器的機械部件微型化后，通過三維堆疊技術，例如三維硅穿孔TSV 等技術把器件固定在硅晶元（wafer）上，最後根據不同的應用 ...

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