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RF MEMS关键技术与器件- 射频集成电路

1 引言. 微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，以硅、砷化镓、蓝宝石等为衬底材料，将常规 ...

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