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具非晶態磁芯之CMOS MEMS微磁通閘感測器製作與分析

採用Metglas非晶磁性帶之Chip A晶片在後製程上是採用黃光微 ... nT/√Hz。本研成果有助於未來開發高靈敏度的磁芯形態，使CMOS MEMS磁通閘感測器的效能有更進一步的提升。

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