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在CMOS中建構MEMS：一個不可能實現的夢想？ - 電子工程專輯

這對慣性感測器來說是另一個挑戰，因為通常需要一個大的品質塊，而薄層材料很難做到這一點。」 在傳統的MEMS製程中，矽可能有40微米(µm)厚，但在0.18微米 ...

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