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第三章可變電容梳狀懸浮結構製作

目前應用在微機電系統的製造技術可概分為四類﹐分別為面型微. 加工(Surface Micromachining)、體型微 ... 典型之微機電多層膜製程首推MUMPs(Multi-User MEMS Process).

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