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MEMS的最新技術開發動向 - 材料世界網

目前已有許多利用半導體技術製作的之商品化MEMS元件，如感測器、噴墨印表頭、微鏡(Micro Mirror)的顯示器等。 第一代MEMS元件是從取代傳統既有零組件的 ...

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