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微機電系統的發展與應用 - 科學月刊

作者／曲建仲（任職美商德州儀器公司） · 微機電系統的核心技術與元件微機電系統（MEMS）包括微小技術、系統技術、材料效應等三大核心技術，可應用在微致動 ...

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