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CMOS-MEMS 電容式感測元件與製程平台之研究 - 國立清華 ...

除了這兩種產品外，微機電壓力計(Pressure sensor)與加速度計(Accelerometer)也已大量應用於車用電子感測器，利用壓力計來偵測輪胎胎壓，使用加速度計來 ...

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