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MEMS封装技术

摘要: 介绍了微机电(MEMS)封装技术,包括晶片级封装、单芯片封装和多芯片封装、模块式封装与倒. 装焊3种很有前景的封装技术。指出了MEMS封装的几个可靠性问题,最后, ...

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