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mems壓力感測器
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壓力感測器比較完整的介紹 - 看看文庫
mems 矽壓阻式壓力感測器採用周邊固定的圓形的應力杯矽薄膜內壁,採用mems技術直接將四個高精密半導體應變片刻制在其表面應力最大處,組成惠斯頓測量電橋, ...
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