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mems壓力感測器
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壓阻式感測器 - 華人百科
利用單晶矽材料的壓阻效應和積體電路技術製成的感測器。 ... 壓阻式感測器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉變為力的變化的其他物理量(如液位、加速度、重量、應變、 ...
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