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矽質微型壓阻式壓力感測器封裝效應之研究 - 百度学术

摘要：. 由於微機電系統( MEMS )製程技術之蓬勃發展,微型元件已能成功量產,矽質壓阻式壓力感測器更是微機電市場中主要的產品之ㄧ.矽質壓阻式壓力感測器的發展已逐漸 ...

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