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MEMS感測器:套用,研究現狀,分類,總結 - 中文百科全書

車用MEMS壓力感測器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。而MEMS加速度計的原理是基於牛頓的經典力學定律，通常由懸掛系統和檢測質量組成，通過微 ...

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