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mems加速度計原理
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纳米材料和器件 - 第 364 頁 - Google 圖書結果
( 2 )微机械加速度计微机械加速度计是 MEMS 技术相对较新的应用,可用于不同的领域, ... 微硅加速度计有压阻、电容、压电、热电、隧道效应和谐振等工作原理的, ...
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