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mems加速度計原理
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惯性导航之MEMS加速度计原理- minglixtu - 博客园
一加速度计原理1.1 加速度计由MEMS传感器与信号处理芯片组成。 1.2 MEMS加速度计工作原理由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成;当加速度达到 ...
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