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mems加速度計原理
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一文读懂MEMS加速度计(原理工艺及使用) - 博客
MEMS加速度 传感器原理工艺及使用. 根据硅资料微机械加工技能生产的加速度传感器使用范围广,具有mems工艺制作的器材所拥有的一起优点:体积小、重量 ...
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