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mems加速度計原理
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壓電型與MEMS加速規之振動量測技術
本文主要介紹壓電型加速規(市售與自製)和MEMS加速度感測器之工作原理與感測. 機制,分別將兩種加速規放置於振動校正器量測其振動位移量,同時利用NI ...
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