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mems加速度計原理
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浅述MEMS加速度传感器的原理与构造 - 电子元件技术网
电容式MEMS加速度计的工艺一般采用的有:表面工艺、体硅工艺、LIGA工艺及SOI+DRIE工艺等。如表3对这几种工艺进行了对比。 表面工艺是在集成电路平面工艺 ...
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