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mems加速度計原理
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碩士論文 - CHUR - 中華大學
論文名稱:微機電製程技術:微加速度感測器的設計、分析與製作. ☑同意. □不同意 ... 加速度感測器的結構示意圖. 圖2-4 一般微型加速感測器的數學模型及工作原理示意圖.
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