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mems加速度計原理
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CMOS-MEMS 電容式感測元件與製程平台之研究 - 心得報告
微機電系統泛指應用機電及電化的原理所建構的工程裝置。 ... 以及Zhang等人所提出利用CMOS標準製程製作的電容式加速度計和Huang等人提出對於CMOS標準 ...
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